檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "LSMO".ekeyword (精準) and year="94"
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壓電元件的電極對於電性及抗疲勞特性有一定程度的影響。電極與基材界面間結合的緊密性以及電極表面晶粒的成長會影響到元件Pr值與Ec值的大小,電極與基材界面間的結合強度將改變元件抗疲勞特性的好壞。 利用改…
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本文採用430型不銹鋼(SUS430)取替Pt電極與矽晶片基板,搭配CO2低溫雷射退火製程,以改善傳統爐管之退火中導致元件產生介面擴散與氧化等問題,使得PZT鐵電薄膜與LSMO氧化物電極能成功鍍製於…